한백교역

적외선온도계 Pyrometer

모든 물질은 적외선 복사 에너지를 방출합니다. 방출하는 적외선 복사에너지를 감지하여 접촉하지 않고 온도를 측정합니다.

반도체장비용

PhotriX Series

30~2600℃
반도체, Solar, Thin Film Deposition, Crystal Growing용 온도계

• PhotriXTM 제품은 적용환경에 따라, 4가지 타입의 제품이 있다.
• 단파장 대역 온도계로 가장 낮은 온도대역까지 측정 가능하게 되었다.
• 5가지 파장대역의 측정온도범위
-650nm: 400~2600℃
-900nm: 210~2600℃
-1550nm: 70~2600℃
-700~1650nm: 30~2400℃
• 크리스탈그로잉과 같이 사이클이 긴 공정의 우수한 장기적 안정성 과 재생산성, 또한 반복적인 가동에 따른 재현성을 향상 시키기 위해 주변온도 영향을 보상 해 주고 있다.

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